一种晶圆涂布夹具

专利摘要:
本实用新型公开了一种晶圆涂布夹具，包括吸附头，吸附头包括用于与外部电机连接的底座和水平固定在所述底座顶端的定位夹具承载平台，定位夹具承载平台顶端固定连接吸附平台，吸附平台上开设有吸孔槽，底座内设置中空通道，吸孔槽通过真空吸气孔连通中空通道，定位夹具承载平台上套有定位夹具。本实用新型在定位夹具承载平台设置定位夹具，圆形的定位夹具可依据晶圆尺寸设计，对不同尺寸的晶圆具有高度适用性，定位夹具设计简单，制作成本低，不同尺寸晶圆只需更换定位夹具即可使用，不需重新制作整个晶圆涂布夹具，成本和效率大大提高，适合推广应用；定位夹具的设置又可阻止作业时油墨离心甩出去撞到机器后反弹回来对晶圆产品背面造成污染。
公开号:CN214335462U
申请号:CN202120862536.XU
申请日:2021-04-25
公开日:2021-10-01
发明作者:李涛；尚海；雷紫昂
申请人:Hangzhou Meidikai Photoelectric Technology Co ltd；
IPC主号:G03F7-16

专利说明:
[n0001] 本实用新型涉及半导体晶圆光刻胶技术领域，尤其涉及一种晶圆涂布夹具。
[n0002] 随着半导体晶圆工艺的发展，目前行业内竞争激烈，产品的产出率直接关系到市场的竞争强弱。现有晶圆涂布夹具结构固定，一种尺寸晶圆就需要一种尺寸对应的晶圆涂布夹具，造成生产成本高，且现有晶圆涂布夹具工作时，油墨离心甩出去撞到机器后反弹回来对晶圆产品背面造成污染，影响产品质量。
[n0003] 为解决上述技术问题，本实用新型设计了一种晶圆涂布夹具。
[n0004] 本实用新型采用如下技术方案：
[n0005] 一种晶圆涂布夹具，包括吸附头，吸附头包括用于与外部电机连接的底座和水平固定在所述底座顶端的定位夹具承载平台，定位夹具承载平台顶端固定连接吸附平台，吸附平台上开设有吸孔槽，底座内设置中空通道，吸孔槽通过真空吸气孔连通中空通道，定位夹具承载平台上套有定位夹具。
[n0006] 作为优选，所述定位夹具内径与吸附平台外径相配合，定位夹具厚度低于吸附平台。
[n0007] 作为优选，所述底座底部设置有与外部电机连接的电机轴卡扣。
[n0008] 作为优选，所述吸附平台上均匀开设有多个圆形的吸孔槽。
[n0009] 作为优选，所述吸孔槽包括相对真空口外十字交叉的直线槽口，以及与直线槽口交叉布置的若干环形槽口。
[n0010] 作为优选，所述底座、定位夹具承载平台和吸附平台采用POM板。
[n0011] 作为优选，所述底座、定位夹具承载平台和吸附平台一体成型。
[n0012] 本实用新型的有益效果是：（1）、本实用新型在定位夹具承载平台设置定位夹具，圆形的定位夹具可依据晶圆尺寸设计，作业时直接将定位夹具牢牢镶嵌在吸附平台上，与夹具承载平台对齐，方便晶圆定位，使晶圆与平台处于同心圆的状态，旋涂时片不会发生离心错位现象，避免造成涂布厚度均匀性差，高转速发生飞片现象，大大提高工艺稳定性，对不同尺寸的晶圆具有高度适用性，定位夹具设计简单，制作成本低，不同尺寸晶圆只需更换定位夹具即可使用，不需重新制作整个晶圆涂布夹具，成本和效率大大提高，解决了实际生产问题，适合推广应用；（2）、定位夹具的设置又可阻止作业时油墨离心甩出去撞到机器后反弹回来对晶圆产品背面造成污染；（3）、吸孔槽的设置，能给晶圆提供均匀的吸附力，避免晶圆局部出现挤压、发生翘曲等现象。
[n0013] 图1是本实用新型的一种结构示意图；
[n0014] 图2是本实用新型中吸附头的一种结构示意图；
[n0015] 图3是图2的一种仰视图；
[n0016] 图4是本实用新型的一种剖视图；
[n0017] 图5是图4的一种俯视图；
[n0018] 图6是本实用新型吸附晶圆时的一种结构示意图；
[n0019] 图7是本实用新型中一种吸附头的结构示意图；
[n0020] 图8是本实用新型中另一种吸附头的结构示意图；
[n0021] 图中：1、底座，2、定位夹具承载平台，3、吸附平台，4、定位夹具，5、中空通道，6、真空吸气孔，7、电机轴卡扣，8、吸孔槽，9、待加工晶圆。
[n0022] 下面通过具体实施例，并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的具体描述：
[n0023] 实施例1：如附图1-7所示，一种晶圆涂布夹具，包括吸附头，吸附头包括用于与外部电机连接的底座1和水平固定在所述底座顶端的定位夹具承载平台2，定位夹具承载平台顶端固定连接吸附平台3，吸附平台上开设有吸孔槽，底座内设置中空通道5，吸孔槽通过真空吸气孔6连通中空通道，定位夹具承载平台上套有定位夹具4。
[n0024] 定位夹具内径与吸附平台外径相配合，定位夹具厚度低于吸附平台。底座底部设置有与外部电机连接的电机轴卡扣7。吸附平台上均匀开设有多个圆形的吸孔槽8。底座、定位夹具承载平台和吸附平台采用POM板。底座、定位夹具承载平台和吸附平台一体成型。
[n0025] 实施例2：如附图8所示，吸孔槽包括相对真空口外十字交叉的直线槽口，以及与直线槽口交叉布置的若干环形槽口。其他部分如实施例1中所述。
[n0026] 本实用新型在定位夹具承载平台设置定位夹具，圆形的定位夹具可依据待加工晶圆9尺寸设计，作业时直接将定位夹具牢牢镶嵌在吸附平台上，与夹具承载平台对齐，方便晶圆定位，使晶圆与平台处于同心圆的状态；旋涂时片不会发生离心错位现象，避免造成涂布厚度均匀性差，高转速发生飞片现象，大大提高工艺稳定性，对不同尺寸的晶圆具有高度适用性，定位夹具设计简单，制作成本低，不同尺寸晶圆只需更换定位夹具即可使用，不需重新制作整个晶圆涂布夹具，成本和效率大大提高，解决了实际生产问题，适合推广应用；定位夹具的设置又可阻止作业时油墨离心甩出去撞到机器后反弹回来对晶圆产品背面造成污染吸孔槽的设置，能给晶圆提供均匀的吸附力，避免晶圆局部出现挤压、发生翘曲等现象。
[n0027] 以上所述的实施例只是本实用新型的一种较佳的方案，并非对本实用新型作任何形式上的限制，在不超出权利要求所记载的技术方案的前提下还有其它的变体及改型。

权利要求:
Claims (7)
[0001] 1.一种晶圆涂布夹具，包括吸附头，其特征是，所述吸附头包括用于与外部电机连接的底座和水平固定在所述底座顶端的定位夹具承载平台，定位夹具承载平台顶端固定连接吸附平台，吸附平台上开设有吸孔槽，底座内设置中空通道，吸孔槽通过真空吸气孔连通中空通道，定位夹具承载平台上套有定位夹具。
[0002] 2.根据权利要求1所述的一种晶圆涂布夹具，其特征是，所述定位夹具内径与吸附平台外径相配合，定位夹具厚度低于吸附平台。
[0003] 3.根据权利要求1所述的一种晶圆涂布夹具，其特征是，所述底座底部设置有与外部电机连接的电机轴卡扣。
[0004] 4.根据权利要求1所述的一种晶圆涂布夹具，其特征是，所述吸附平台上均匀开设有多个圆形的吸孔槽。
[0005] 5.根据权利要求1所述的一种晶圆涂布夹具，其特征是，所述吸孔槽包括相对真空口外十字交叉的直线槽口，以及与直线槽口交叉布置的若干环形槽口。
[0006] 6.根据权利要求1所述的一种晶圆涂布夹具，其特征是，所述底座、定位夹具承载平台和吸附平台采用POM板。
[0007] 7.根据权利要求1所述的一种晶圆涂布夹具，其特征是，所述底座、定位夹具承载平台和吸附平台一体成型。

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
2021-10-01| GR01| Patent grant|

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2021-10-01| GR01| Patent grant|

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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CN202120862536.XU|CN214335462U|2021-04-25|2021-04-25|一种晶圆涂布夹具|CN202120862536.XU| CN214335462U|2021-04-25|2021-04-25|一种晶圆涂布夹具|